Нидерландская ASML совместно с немецким производителем оптики Carl Zeiss приступила к разработке литографической системы нового поколения под названием Hyper NA.
Микросхемы нового поколения: ASML готовит литографическую систему Hyper NA
Это краткое изложение. Полный текст материала доступен на сайте источника.