Китайская академия наук (CAS) представила архитектуру транзисторов Gate-All-Around (GAA) с применением DUV-литографии (литография в глубоком ультрафиолете). Разработка может помочь китайской полупроводниковой отрасли выпустить новое поколение чипов без доступа к современным EUV-сканерам, поставки…