Оборудование уже используется на предприятиях Китая, выпускающих логические микросхемы и микросхемы памяти Компания Shanghai Microelectronics Equipment (SMEE) представила новое поколение установок сухой литографии на 9-й Китайской международной выставке импортных товаров. Разработка стала очередным…