Китайская компания Langdao Silex впервые публично продемонстрировала прототип собственного источника излучения для EUV-литографии. По заявлению представителей компании, 90 % компонентов системы произведены в Китае, а большинство ключевых узлов разработано внутри компании. Выход на серийное…